中国电科旗（qí）下电科装备研制（zhì）成功的离子注入机。中国电科 供图（tú）

　　中新网北京（jīng）3月（yuè）17日电 (记（jì）者 孙自法)记者17日从中（zhōng）国电子科技集团有（yǒu）限公（gōng）司(中（zhōng）国电科（kē）)获悉，该（gāi）集团旗下电（diàn）科装备已成功实现离子注入机全谱系（xì）产品国产化，可（kě）为全球芯片制造企业提供离子注（zhù）入机（jī）一站式解决方（fāng）案。

　　中国电科介绍说，离子注入机是芯片（piàn）制造中的关键装备。电（diàn）科装备连续突破大流强长寿命高（gāo）品（pǐn）质（zhì）离子源、高（gāo）速晶（jīng）圆（yuán）传输（shū）等“卡（kǎ）脖子”关键技术，自主研制出中束流、大束流、高能（néng）、特种应用（yòng）及（jí）第三代半导体等离子注入（rù）机，工艺段覆盖至（zhì）28纳米，已（yǐ）累（lèi）计形成核心发明专利413项（xiàng），实现中（zhōng）国芯片制造领域（yù）全（quán）谱（pǔ）系离子（zǐ）注入机自主创新发展，将有效缓解中国芯片制造领域断链、短链难题。

　　中国（guó）电科（kē）表示（shì），下（xià）一步，电科装备将瞄（miáo）准高端，紧跟先进工艺发展，加快推进（jìn）适用于更（gèng）先进工艺（yì）节点离（lí）子注入（rù）机的研发及产业化。

　　据了（le）解，中国电科是中国（guó）军工电子主（zhǔ）力军（jun1）、网信事业“国（guó）家队”、国家战略（luè）科技（jì）力量（liàng），拥有电（diàn）子信息（xī）领域相对（duì）完（wán）备（bèi）的科技创新（xīn）体系。目前，中国电科旗下包括47家国家级研（yán）究院所、11家（jiā）上市（shì）公司在（zài）内的企事业单位500余（yú）家，员（yuán）工20余万名（míng），并拥有（yǒu）35个国家（jiā）级重点实验室、研究中心和创新中心。